多通孔高精度薄厚膜AlN基片制造技术

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整机电子系统对军用电子器件的性能、集成密度、体积、功耗的要求越来越高,只有采用高导热的氮化铝(AlN)基板,才能满足不断增长的功能和性能要求。本文首先选用厚度为0.254mm的AlN陶瓷基片作为基板,利用激光打孔技术制作100μm的通孔,结合厚膜丝网印刷填孔技术填充通孔,通过磁控溅射技术制作Ti/Pt/Au膜层,利用湿法刻蚀技术制造出高精度、高产能及高成品率的薄厚膜电路。另外,基片膜层还通过直径25μm金丝键合考核实验,拉克值均达到国军标考核要求。
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