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一种新型LEC晶体管及其真空注入工艺
一种新型LEC晶体管及其真空注入工艺
来源 :华东三省一市第三届真空学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:userbyf
【摘 要】
:
本文介绍一种新型低发射区浓度(LEC)结构的高电流增益晶体管3DA3807的设计与制造,阐述了其与一般常规晶体管比较所显示的结构特点,概述了所采用的包括真空注入在内的关键
【作 者】
:
俞诚
王文源
张爱忠
蒲荣生
周金龙
【机 构】
:
中国华晶电子集团公司,江苏,无锡
【出 处】
:
华东三省一市第三届真空学术交流会
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
晶体管
真空注入
制造工艺
结构特点
电流增益
发射区
显示
设计
浓度
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本文介绍一种新型低发射区浓度(LEC)结构的高电流增益晶体管3DA3807的设计与制造,阐述了其与一般常规晶体管比较所显示的结构特点,概述了所采用的包括真空注入在内的关键制造工艺,讨论了研制中遇到的一些问题。
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