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在传统的变频相移标定中，仅对单个采样点进行分析处理，难以消除随机误差和累积误差的影响，因此其标定精度难以提高。本文提出一种高精度变频相移的标定方法。首先，通过改变激光器的驱动电压而改变输出波长，采集一系列有误差的相移干涉图；其次，将原始干涉图与第t+1步相移干涉图分别相乘，对其结果进行傅里叶变换，并提取低频信息；再次，构建相移误差函数，通过求取误差函数的极值点得到第t+1步相移的精确位置；最后，经过拟合校正，得到准确的相移量标定函数。仿真实验结果表明，该方法实现了变频相移干涉的精确标定。