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利用自主搭建的磁控溅射系统在氧化镁，蓝宝石和石英衬底上外延生长了Mg0.50Zn0.50O 薄膜.薄膜中Mg 组份与衬底关系不大，都是50％.X射线衍射测试表明Mg0.50Zn0.50O 薄膜的晶格结构取决于衬底的晶格结构，分别是立方相，六方相和混合相结构.
衬底对磁控溅射生长Mg0.50Zn0.50O薄膜性能的影响
【摘 要】
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利用自主搭建的磁控溅射系统在氧化镁，蓝宝石和石英衬底上外延生长了Mg0.50Zn0.50O 薄膜.薄膜中Mg 组份与衬底关系不大，都是50％.X射线衍射测试表明Mg0.50Zn0.50O 薄膜的晶格
【机 构】
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中国科学院福建物质结构研究所,材料化学与物理实验室,福建 350002
【出 处】
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第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2012年期
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