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【摘 要】
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随着微电子以及MEMS 行业的迅速发展，纳米金属多层膜的力学性能表征及其尺度效应研究成为了研究的热点。本文简要回顾了金属薄膜力学性能的评价方法，针对延性和疲劳性能评
【机 构】
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金属材料强度国家重点实验室 西安交通大学 710049
【出 处】
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第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2012年期
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