微等离子体是指至少有一个维度在毫米或亚毫米范围内的等离子体.其作为一种新型激发电离源，越来越多的用于分析技术领域.相较于传统的等离子体，微等离子体有着很多独到的优势.例如，微等离子体制作简单，操作成本低，体积小，可以在大气中直接工作，从而更易于与便携式仪器结合.我们课题组长期致力于微等离子体技术与装置的研究，研发了一系列微等离子体放电装置，包括利用自制的高压脉冲电源代替传统的直流电源供电的微等离子体和利用载气将微等离子体从气体出口处吹出形成的微等离子体炬.为了进一步提高微等离子体的稳定性和检测灵敏度，最近我们设计了一种芯片式凹槽微等离子体，并结合分子发射光谱用于含碳有机物检测.该装置的微等离子体维持在两电极之间，光纤探头垂直于气流方向进行收光，大大提高了含碳物质的检测信号，其机理为空气中的氮气反向扩散进入微等离子体，与有机物中的碳结合形成强烈的CN发射谱线，利用该谱线进行有机物测定，检出限在几个ppb.