【摘 要】
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本文通过流片实验,制作了Cr、Ni、Ti等特种金属硅化物和Al金属肖特基二极管,并对其电流电压特性进行了测试比较.结果表明,与Al/Si二极管相比,金属硅化物肖特基二极管具有较低
【出 处】
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第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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本文通过流片实验,制作了Cr、Ni、Ti等特种金属硅化物和Al金属肖特基二极管,并对其电流电压特性进行了测试比较.结果表明,与Al/Si二极管相比,金属硅化物肖特基二极管具有较低的势垒高度,但大电流条件下具有较强的电阻效应.采用电流电压法提取出了四种肖特基二极管的势垒高度,钛硅化物二极管为0.49eV,镍硅化物二极管为0.53eV,铬硅化物二极管为0.60eV,纯铝二极管为0.71eV.
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