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该文研究了微机械惯性仪表的极限精度。首先，从仪表的结构原理出发，论述了微机械加速度计和微机械陀螺仪的微结构敏感元件的灵敏度和热噪声，提出满足基本精度指标的位移测量要求。其次，介绍了采样电容电桥测量亚原子级位移的电路原理，分析了该电路的误差源，推导出了信噪比计算公式。第三，讨论了抑制电路噪声和隔离分布电容的措施，计算了理论上可以达到的极限精度，阐述了当前工程实际可以达到的现实精度。第四，给出了该课题组的原理样机已经达到的主要性能指标，分析了存在的问题和进一步提高仪表精度的技术措施。