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策机电系统(Micro electro mechanical system,MEMS)在中国经过十多年的发展，已显示了其强大的生命力并将对科学技术和人类生活产生革命性的影响。微机械惯性器件是微机电系统研究的一个重要，它是微电子加工技术和惯笥技术相结合的产物。随着硅平面加工技术向准三维加工技术的发展，人们就可以象生产集成电路那样来生产惯性器件，从而使惯性技术产生重大变革。该文僮要叙述了策机械惯性器件的发展状况、技术趋势和市场预测。