纳米TiO2由于其晶型结构、光电效应和化学性质等方面的性能，在空气净化领域中有着广阔的应用前景。但纳米TiO2光催化剂目前存在如下问题：(1)TiO2光催化剂的电荷分离效率低，使得催化剂的降解效率下降：(2)TiO2光催化剂只能利用紫外光，降低了太阳光的使用效率。本文以Na2SiF6/HF为电解液，采用阳极氧化法一步制备了Si掺杂的TiO2纳米管薄膜光催化剂，经过改性的TiO2纳米管薄膜光催化剂可以降低电子和空穴的复合率。通过SEM，XRD，DRS，SPS和EDX等表征手段对TiO2纳米管薄膜催化剂进行了表征。利用微反应系统光催化氧化装置，以Si掺杂的TiO2纳米管薄膜为光催化剂，研究了挥发性有机气体甲苯的光催化降解规律，探讨了掺硅量、煅烧温度、初始浓度、紫外光光强、氧气流量等因素对光催化反应的影响。