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BST薄膜具有良好的热释电性能，且居里温度可通过改变Ba/Sr的比例来调节，因此在非制冷红外探测器方面具有非常广泛的应用。本文以醋酸钡、醋酸锶、钛酸丁酯为起始原料，乙酰丙酮为化学修饰剂，采用溶胶-凝胶法分别在Pt/SiO2/Si和ITO基板上制备了表面均匀的BST凝胶薄膜。进一步研究了这种凝胶薄膜的紫外光谱特性，发现这种凝胶薄膜在325nm附近有较强的吸收峰。当紫外光照射薄膜后，吸收峰逐渐减弱，表现出明显的紫外感光特性。依据这种特，利用紫外掩模曝光工艺，制备出边缘整齐的微细图形。将该凝胶薄膜在700℃下热处理，经XRD分析，衍射峰尖锐且强度较强，表明薄膜具有单一的立方钙钛矿结构。这为BST薄膜在热释电红外探测器方面的应用提供了必要的实验依据。