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本文用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si上制备了钛酸钡(BaTiO3,BTO)掺杂的纳米晶钡铁氧体(BaFe12O19，BFO)复合薄膜。研究表明，BTO和BFO前驱液的pH值、温度及聚乙烯吡咯烷酮添加剂的含量是制备光滑致密铁磁复合薄膜的先决条件，纳米晶的形成还与BTO和BFO的含量、界面仔晶层、晶化温度密切相关。通过利用X-射线光电子能谱、X-射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜对薄膜的表面特征的研究，找到了制备光滑致密的纳米晶铁磁复合薄膜的优化条件。