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精密多石英片强 X 光源探测器的研制解决了多元件 Ge 探测器在第三代同步辐射源 X 射线探测中遇到的计数极限问题。本文介绍了探测器的主要结构、工作原理及其关键部件——多层膜石英片的加工技术要求及主要工艺方法。
精密多石英片强X光源探测器
【摘 要】
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精密多石英片强 X 光源探测器的研制解决了多元件 Ge 探测器在第三代同步辐射源 X 射线探测中遇到的计数极限问题。本文介绍了探测器的主要结构、工作原理及其关键部件——多
【机 构】
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中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所,南京,210042
【出 处】
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第五届全国光子学大会
【发表日期】
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2004年期
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