球面的快速测量与非球面的快速拼接

来源 :中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wcd_wang
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利用立式车间用球面干涉仪实现比较法球面面形测量,一次调整好以后可以达到多片快速测量,避免复杂的调整,通过监示器看到光圈;并可以通过条纹扫描技术实现光圈数N及局部光圈数ΔN的自动客观判读;对于低陡度非球面的多块拼接,可以籍助“非球面特征干涉图”实现快速初步拼接,然后再用每个子孔径的相位探测实现整个孔径的拼接,并可以通过数字的测量与波面相减自动获得非球面的面形误差。
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