论文部分内容阅读
本文采用射频等离子体化学气相沉积（RF-PECVD）技术，以C2H2 为碳源，Ar 为稀释气体，在普通PET瓶内制备类金刚石（Diamond-like Carbon,DLC）薄膜作为高阻隔层。采用傅立叶红外透射光谱(FTIR)对其进行结构、成分进行分析。结果表明,射频等离子体化学气相沉积方法，可以在很短时间内于PET瓶内沉积一层纳米厚度的DLC膜。傅立叶红外透射光谱(FTIR)分析表明选用规格不同的电极，对于所制备的DLC的结构影响很大,同时薄膜结构中SP2和SP3比例和放电功率有较大的关系，而薄膜的成分受乙炔的比例的影响也不容忽视。