集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表.中国正在成为世界集成电路制造业的重要区域,同时也将成为集成电路装备商争胜的焦点.相对于集成电路制造业,我国的集成电路制装备制造业无论从生产规模、研发水平、投资强度以及人才聚集等方面都还有存在着很大的差距,尚未形成可以支撑自身可持续发展的产业规模.面对强劲的市场和产业发展需求,建立健康的集成电路装备制造业,开发关键制造装备和具有自主知识产权的先进工艺,形成具有自主发展能力和核心竞争力的产业链,实现可持续健康发展,已成为我国集成电路制造业亟待解决的一项具有全局性和战略性意义的核心问题.在近期颁布的国家中长期科技发展规划中,集成电路制造装备与成套工艺已经列为重大专项,充分显示了中国政府对这一战略意义的认识和决心.本文介绍中国集成电路装备制造业自主创新战略的目标及重点。