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高精度空气静压轴承是精密加工设备和精密测量仪器的关键核心单元。对空气静压轴承间隙内的压力分布进行了数值模拟,优化了主要结构参数,采用精密磨削、深小孔钻削和精密车削等加工方法,经过精密装配和测量,将偏心误差、圆度误差和轴承回转误差进行了有效分离。实例计算表明,空气静压轴承回转误差小于0.025μm。