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溅射生长相关论文

倒筒靶RF溅射制备BST热释电薄膜研究

(Ba,Sr)TiO_3(简称BST)是一种钙钛矿结构的铁电材料,具有介电常数高、漏电流密度小、热释电性能优良以及居里温度可调等特点,是制......

学位

BST薄膜倒筒靶射频溅射热释电非制冷焦平面阵列

透明ZnS薄膜材料生长及其性能研究

本论文采用溅射和蒸镀方法沉积了Zn/S/Zn(ZSZ)三层结构薄膜,然后通过在1atm压力的Ar气氛中退火制备出ZnS薄膜。利用X射线衍射仪、......

学位

ZSZ薄膜 ZnS薄膜溅射蒸发退火

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