本文研究了表面处理对n-GaN上无合金化的Ti/Al电极起的作用,比较了(NH4)2Sx和CH3CSNH2两种不同的表面处理方法.在用CH3CSHN2/NH4OH......

使用干法刻蚀在GaN LED晶片上刻蚀n区，用电子束蒸发方法在n型GaN表面上淀积Ti／Al双金属层作为接触电极，在N_2环境中进行退火．探讨不同......