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Y2O3隔离层相关论文
反应气体H2O对Y2O3隔离层外延生长的影响
报道了用反应溅射的方法在有强立方织构的NiW基带上连续制备Y2O3隔离层的研究结果.用X射线θ~2θ扫描,φ扫描对薄膜的取向和织构进......
期刊
反应溅射
Y2O3隔离层
H2O分压
表面形貌
reactive sputtering
Y2O3 buffer layer
H2O partial pres
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