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XeF2干法释放相关论文
MEMS热电堆红外探测器的结构设计及制造研究
在现代社会中,无论是军用还是民用领域,红外探测器都有越来越重要的地位。热电堆红外探测器作为非制冷型红外探测器的一种,自20世纪80......
学位
热电堆
红外
MEMS
IC兼容
XeF2干法释放
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