W—Ti—N复合膜相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

W—Ti—N复合膜相关论文

不同Ti含量的W—Ti—N复合膜的微结构及性能研究

采用多靶反应磁控溅射技术制备一系列不同Ti含量的W-Ti—N复合膜。采用x射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等检测方法对薄膜的微结......

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磁控溅射 W—Ti—N复合膜微结构力学性能摩擦性能 magnetron sputtering W-Ti-N composite film micro

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