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SiO2-Si结构相关论文

Ga在SiO2-Si复合结构中的热分布研究

用H2和Ga2O3的高温反应形成元素Ga的恒定表面源,通过SiO2-Si复合结构实现了Ga在Si中的高均匀性掺杂;利用二次离子质谱分析(SIMS)、......

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GA SiO2-Si结构浓度分布 Ga SiO2/Si structure concentration distribution

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