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Pt膜相关论文

低能Ar~+离子束辅助沉积择优取向Pt(111)膜

　采用低能Ar+离子束辅助沉积方法,在Mo/Si(100)基底上沉积Pt膜,离子/原子到达比分别为0.1、0.2、0.3。若Ar+离子的入射角为0°,XR......

期刊

离子束辅助沉积 Pt膜择优取向

6H-SiC单晶衬底上的超薄Pt膜

采用磁控溅射技术在6H-SiC单晶衬底上厚度为2nm的Pt膜,真空条件下样品经高温退火。采用拉曼、AFM、SEM进行对界面进行表征,结果发......

会议

碳化硅磁控溅射单晶衬底退火过程薄膜制备

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