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LaNiO3-x薄膜相关论文
溅射时氧分压对LaNiO3-x薄膜性能的影响
在较低的衬底温度(260 0C)和不同氧分压下,采用射频溅射在(111)Si衬底上制备出了具有(100)择优取向的 LaNiO3薄膜. SEM分析表明薄......
期刊
LaNiO3-x薄膜
射频溅射
SEM
氧分压
导电性
晶格参数
RF- sputtering LaNiO3 thin film conductivity la
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