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K-Ka波段相关论文
MPCVD高品质金刚石膜的制备与K-Ka波段微波介电性能研究
为了满足微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜作为微波介电材料的应用需求,本文从改变MPCVD生长参数制备不同品质的金刚石膜......
学位
微波等离子体化学气相沉积
金刚石膜
微波介电性能
K-Ka波段
氮杂质
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