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Ar+能量相关论文

Ar^＋及沉积气压对离子溅射制备铜钨复合膜结构的影响

研究双离子束溅射组装铜钨复合膜Ar^＋能量及束流对膜影响。用XRD分析溅射沉积后的薄膜结构。实验结果表明,随靶Ar^＋能量和束流增加,......

期刊

铜钨薄膜离子束溅射 Ar+能量束流晶粒度 Cu-W thin film ion beam sputtering Ar^＋ energy beam flux

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