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网状阴极溅射法相关论文
网状阴极溅射法在钛合金表面渗镀Ta的耐蚀性研究
研究设计了一种网状阴极溅射靶,它是由多个空心阴极并列交叉组合而成.结构简单,溅射率高.将其用于双层辉光离子渗钽中,在钛合金 TC......
期刊
网状阴极溅射法
钛合金
渗镀钽
耐蚀性
表面处理
TC4 cathode sputtering tantalizing
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