【摘 要】
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探索了采用标准CMOS工艺实现单片光互连的可行性。采用特许(Chartered)半导体公司3.3V、0.35μm标准模拟CMOS工艺设计并制造了一种单片光互连系统,并用两种结构研究了衬底噪
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探索了采用标准CMOS工艺实现单片光互连的可行性。采用特许(Chartered)半导体公司3.3V、0.35μm标准模拟CMOS工艺设计并制造了一种单片光互连系统,并用两种结构研究了衬底噪声耦合对互连性能的影响。测试结果表明:该光互连系统可工作于几×103Hz,验证了基于标准CMOS工艺的单片光互连系统是可行的。
Explore the feasibility of using a standard CMOS process to achieve single-chip optical interconnects. A monolithic optical interconnection system was designed and fabricated by Chartered Semiconductor’s 3.3V, 0.35μm standard analog CMOS process. The effects of substrate noise coupling on interconnection performance were studied using two structures. The test results show that the optical interconnection system can work at several × 103Hz, which verifies that a single optical interconnection system based on standard CMOS technology is feasible.
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