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【摘 要】
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用伪谱算法对电容压力微传感器极板膜在均匀载荷条件下的弯曲行为作了数值模拟, 叙述了伪谱算法原理, 并将其用于微传感器的载荷与电容关系分析. 对于非接触式电容压力微传感
【机 构】
：
中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所,中国科学院声学研究所 北京100080,北京100080,北京100080
【出 处】
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中国科学E辑:工程科学 材料科学
【发表日期】
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2005年01期
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