【摘 要】
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本文分析了MOS结构的电流和电容对阶跃电压的瞬态响应过程.应用较精确的产生区模型,提出了由脉冲MOS结构的I-C瞬态曲线确定产生寿命τ_g的深度分布的正确方法. 在实验上,本文
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本文分析了MOS结构的电流和电容对阶跃电压的瞬态响应过程.应用较精确的产生区模型,提出了由脉冲MOS结构的I-C瞬态曲线确定产生寿命τ_g的深度分布的正确方法. 在实验上,本文提出了直接记录I-C瞬态曲线的实验方法.本文指出,依据这样一条直接记录的I-C瞬态曲线,就可以确定产生寿命τ_g的深度分布.
In this paper, we analyze the transient response of current and capacitance to step voltage in MOS structure.Using the more accurate model of the generated region, we propose a correct method to determine the depth distribution of lifetime τ_g from the transient transients of ICs in a pulsed MOS structure. Experimentally, this paper presents an experimental method for directly recording transient curves of ICs.This paper indicates that according to such a directly recorded IC transient curve, the depth distribution of life τ_g can be determined.
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