IC生产线上离子注入剂量测试方法

来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huaqizhang

【摘要】

：

在IC生产线上,对离子注入剂量的监控非常重要.目前,离子注入剂量的测试方法有很多种,它们在测试原理、仪器价格、测试灵敏度、样品制备和操作方便性等方面存在较大差异.本文

【作者】

：

杨富宝金红杰陈荣程宏亮

【机构】

：

杭州士兰集成电路有限公司

【出处】

：

计量技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

离子注入剂量 MOS C-V法扩展电阻探针热波法

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在IC生产线上,对离子注入剂量的监控非常重要.目前,离子注入剂量的测试方法有很多种,它们在测试原理、仪器价格、测试灵敏度、样品制备和操作方便性等方面存在较大差异.本文重点介绍了MOS C-V法、扩展电阻探针(SRP)法和热波(TW)法的测试原理和测试过程,并比较分析了上述各种测试方法的优缺点,从而给实际工作中选择合适的测试方法监控离子注入剂量提供参考.

其他文献

可调光驱动器支持绿色照明

近年来环保节能的浪潮中,首当其冲的就是绿色照明技术。近日,NXP同时发布面向CFL应用和SSL应用的驱动器IC,以及针对SSL应用的在线设计工具,提高设计研发进度。 In the wave

期刊

LEDCFL驱动器照明

造纸法烟草薄片在卷烟应用中存在的问题研究

通过在线试验及数据对比分析,指出目前造纸法薄片在组织结构方面与烟叶存在较大差异,在卷烟生产过程中会造成含水率不一致、切丝宽度不均匀,卷烟成品混配均匀性较差等一系列

期刊

造纸法烟草薄片吸湿性能均匀性

浅谈戒毒科护患关系及护士的职业道德

戒毒科的患者与普通患者不同，他们有独特的性格特征。他们喜怒无常、情绪起伏、生活懒散、昼夜不分、与人难心沟通。戒毒科的护患关系较其他科室的护患关系也更为敏感、更为紧

期刊

戒毒科护患关系职业道德

外墙复合硅酸铝节能工程施工技术

本文主要阐述了外墙复合硅酸铝保温涂料建筑节能施工技术,并对该节能工程质量通病预防作出了相关的分析.

期刊

建筑节能保温涂料施工技术质量控制

关于建设工程合同管理的探讨

本文笔者首先对建设工程合同管理的概念,特征以及目的进行了相关阐述,然后详细的对其管理措施进行了探讨.

期刊

建设工程合同管理施工单位

医院门诊楼自动喷水灭火系统的设计

结合高层民用建筑自动喷水灭火系统的设计实践,对自动喷水灭火系统的意义和重要性进行了阐述.分别对系统组成以及系统的各个设计步骤做了详细介绍.对系统的形式、管道和喷头

期刊

自动喷水灭火基本参数系统类型水力计算

MAP/DAP装置氨蒸发热源用浓缩磷酸蒸汽冷凝液的可行性论证

磷铵(MAP/DAP)生产需用气氨,液氨在氨蒸发器一般用低压蒸汽为热源气化获得气氨。该文通过热衡算说明可用磷酸浓缩加热器100℃的蒸汽冷凝液作为热源获得气氨,方案实施后,年节

期刊

磷铵液氨气化热源分析

TS-01C型发射机功放模块故障检测及维修

文章简要介绍了TS-01C型发射机功放模块的常见故障及其成因,进而提出了相应的检测与维护方法,力求为电台的维修实践提供一些参考。 The article briefly introduces the com

期刊

TS-01C型发射机功放模块检修

理论的方法意义

方法是为达到一定目的而采取的手段或工具。理论是内涵某种价值观念的一定立场、观点和方法的统一。理论也可以说是关于方法的认识体系。理论的构建意味着方法的运用。 A me

期刊

理论方法学科

基于SOLID5单元压电材料的数学模型研究

压电材料的有限元分析过程中需要根据其特性建立起相应的数学模型,根据出压电体的各种特性,在ANSYS软件平台上将采用SOLID5单元进行分析.在分析SOLID5后通过计算获得个点形函

期刊

数学模型压电材料SOLID5单元

IC生产线上离子注入剂量测试方法

其他学术论文