【摘 要】
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为了去除超光滑玻璃表面的纳米级颗粒, 利用白光干涉仪和原子力显微镜对普通湿法清洗和氢氟酸(HF)清洗后的超光滑抛光样件进行检测, 研究了氢氟酸对纳米级颗粒的清洗效果。研究表明, 在普通湿法清洗后, 增加浓度为2%(V/V)的氢氟酸清 洗10 min以上, 可以有效去除超光滑玻璃表面残留的纳米级颗粒。
【机 构】
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华中光电技术研究所-武汉光电国家研究中心,湖北武汉430223
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为了去除超光滑玻璃表面的纳米级颗粒, 利用白光干涉仪和原子力显微镜对普通湿法清洗和氢氟酸(HF)清洗后的超光滑抛光样件进行检测, 研究了氢氟酸对纳米级颗粒的清洗效果。研究表明, 在普通湿法清洗后, 增加浓度为2%(V/V)的氢氟酸清 洗10 min以上, 可以有效去除超光滑玻璃表面残留的纳米级颗粒。
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