【摘 要】
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在对红外探测器进行理论分析的基础上，设计并研制了液氮温度下的ＹＢａ２Ｃｕ３－ｘＺｎｘＯ７薄膜红外探测器，系统地测试了器件的特征参数。最好的结果为：对于波长为１０μｍ，调制频率为ｆ＝５００Ｈｚ，带宽为Δｆ＝１Ｈｚ的红外输入辐射Ｒｖ（５００，１０，１）＝３５８７Ｖ／Ｗ，ＮＥＰ（５００，１０，１）＝６．５×１０－１２Ｗ／Ｈｚ１／２，Ｄ
【机 构】
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云南工业大学激光研究所,昆明物理研究所
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在对红外探测器进行理论分析的基础上，设计并研制了液氮温度下的ＹＢａ２Ｃｕ３－ｘＺｎｘＯ７薄膜红外探测器，系统地测试了器件的特征参数。最好的结果为：对于波长为１０μｍ，调制频率为ｆ＝５００Ｈｚ，带宽为Δｆ＝１Ｈｚ的红外输入辐射Ｒｖ（５００，１０，１）＝３５８７Ｖ／Ｗ，ＮＥＰ（５００，１０，１）＝６．５×１０－１２Ｗ／Ｈｚ１／２，Ｄ（５００，１０，１）＝７．２×１０１２ｃｍＨｚ１／２／Ｗ，τ（５００，１０，１）＝１．２ｍｓ。
Based on the theoretical analysis of the infrared detector, a YBa2Cu3-xZnxO7 thin film infrared detector at liquid nitrogen temperature was designed and developed to systematically test the characteristic parameters of the device. The best results are: For an infrared input radiation Rv (500,10,1) = 3587V / W, NEP (500,10,1) = 6 with a wavelength of 10 μm, a modulation frequency of f = 500 Hz and a bandwidth of Δf = .5 × 10-12W / Hz1 / 2, D (500,10,1) = 7.2 × 1012cmHz1 / 2 / W, τ (500,10,1) = 1.2ms.
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