基于三次样条插值法的干涉仪反射镜面型值误差分析

来源 :仪器仪表用户 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chen3712331

【摘要】

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根据激光干涉仪测量位移的原理,分析了工件台干涉仪系统的测量位移的原理,由于激光干涉仪反射镜因为加工制造有缺陷从而会产生测量误差,以及设计出了干涉仪反射镜面型误差计

【作者】

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李峰汪杰君熊显名张文涛杜浩

【机构】

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桂林电子科技大学电子工程与自动化学院

【出处】

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仪器仪表用户

【发表日期】

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2020年4期

【关键词】

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激光干涉仪面型值计算三次样条插值法 laser interferometermap calculationcubic spline interpolatio

【基金项目】

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国家科技重大专项(02专项)子课题(No.2017ZX02101007-003)

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根据激光干涉仪测量位移的原理,分析了工件台干涉仪系统的测量位移的原理,由于激光干涉仪反射镜因为加工制造有缺陷从而会产生测量误差,以及设计出了干涉仪反射镜面型误差计算方法。最后利用三次样条插值函数算法对模拟的运动台位置进行仿真分析,得到在±0.2m行程范围内,YMX面型值的最大误差在1.68×10^-10m,XΦZ最大误差的值是1.06×10^-6rad,这种方法可以为实际工程应用提供参考价值。

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