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在微细电极电解制备过程中,由于电极装夹不当等原因,会引起同轴微细电极组件产生偏心误差。通过分析电解制备过程,运用高速图像采集手段对加工过程中的电极边缘进行动态影像采集,并运用图像处理方法进行偏心误差量化分析。在此基础上提出工艺修正对策,通过适当改变电解间隙和阳极转速,可较好地实现对偏心误差的纠正。