【摘 要】
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在气浮轴承研究的基础上,将相应的技术应用到某硅片台上。为了评判气浮技术在该硅片台的应用效果,对该平台进行了有限分析和实验研究。研究结果表明:气浮技术在平台的运用是
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在气浮轴承研究的基础上,将相应的技术应用到某硅片台上。为了评判气浮技术在该硅片台的应用效果,对该平台进行了有限分析和实验研究。研究结果表明:气浮技术在平台的运用是成功的,其产生的前六阶模态,无论在频率和振型上,有限元分析结果和实验研究都非常符合,且在整个实验中,最大的频率误差才3.4%。
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