【摘 要】
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本文对用CVD法(化学气相沉积法)制取的Ti(B.N)涂层的性能进行了研究。涂层显微硬度的增加和涂层成份中B/(B+N)原子比大小呈线性函数关系;但立方结构Ti(B.N)涂层的抗氧化性能
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本文对用CVD法(化学气相沉积法)制取的Ti(B.N)涂层的性能进行了研究。涂层显微硬度的增加和涂层成份中B/(B+N)原子比大小呈线性函数关系;但立方结构Ti(B.N)涂层的抗氧化性能不比TiN 好;在加工钢时,Ti(B.N)涂层刀具抗月牙洼磨损和抗后面磨损性能都比TiN 涂层好得多。
In this paper, the properties of Ti (B.N) coatings prepared by CVD (chemical vapor deposition) were studied. The increase of the microhardness of the coating has a linear function with the atomic ratio of B / (B + N) in the coating. However, the oxidation resistance of the cubic Ti (BN) coating is not better than that of TiN. (BN) coated tools have much better resistance to crater wear and back wear than TiN coatings.
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