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本文主要是对现有扩散炉管的舟位状况进行分析，有就问题提出了详细的解决方案进行，可使扩散炉舟位故障大为减少，同时能大幅度降低其维护成本。
扩散炉管舟位改进及国产化备案
【摘 要】
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本文主要是对现有扩散炉管的舟位状况进行分析，有就问题提出了详细的解决方案进行，可使扩散炉舟位故障大为减少，同时能大幅度降低其维护成本。
【机 构】
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杭州海纳半导体有限公司
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2014年14期
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