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【摘 要】
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根据激光定位光栅扫描电子束曝光机工件台具有的特点，设计了ｘ向用静压气浮导轨结构，实现快速扫描；ｙ向采用机械滚珠导轨，满足间歇步进运动，即走一步、停一段时间再走一步、为保证在高
【机 构】
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精密仪器及机械学系,精密仪器及机械学系,精密仪器及机械学系,精密仪器及机械学系
【出 处】
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清华大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1990年05期
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