【摘 要】
：
采用本实验室生长的4H-SiC外延片,分别用高真空电子束蒸Ni和Ti做肖特基接触金属,Ni合金作欧姆接触,SiO2绝缘环隔离减小高压电场集边效应等技术,制作出4H-SiC肖特基势垒二极管
【机 构】
：
单片集成电路与模块国家级重点实验室
论文部分内容阅读
采用本实验室生长的4H-SiC外延片,分别用高真空电子束蒸Ni和Ti做肖特基接触金属,Ni合金作欧姆接触,SiO2绝缘环隔离减小高压电场集边效应等技术,制作出4H-SiC肖特基势垒二极管（SBD）。该器件在室温下反向击穿电压大于600 V,对应的漏电流为2.00×10-6A。对实验结果分析显示,采用Ni和Ti作肖特基势垒的器件的理想因子分别为1.18和1.52,肖特基势垒高度为1.54 eV和1.00 eV。实验表明,该器件具有较好的正向整流特性。
其他文献
知识经济时代全球劳动力市场呈现出弹性化的趋势,为顺应这种需要,以弹性、灵活的用工方式为特征非典型性就业应运而生。现实中,我国的非典型性就业呈现出蓬勃发展之势,与之不
目的观察平乐正骨骨炎膏外敷治疗急性膝关节滑膜炎的临床疗效。方法选取70例诊断为急性膝关节滑膜炎的患者作为研究对象,按随机数字表法分为观察组和对照组各35例。观察组患
从社会医疗保险的供需双方视角出发,对31个省会和直辖市的流动人口医保转移接续政策进行了对比分析。研究结果表明绝大部分地方政府均已认可流动人口的医保转移接续权利,但对
<正>随着城市建设高潮一轮又一轮的兴起,各种各样的声音应运而生,不光悦耳的声音逐渐增多,噪声也在不知不觉中充斥了人们的耳朵。噪声对人们生活的影响势必会像北京的雾霾一
在学报编辑工作中发现,不少教师、医师和科研人员在论文书写中存在许多不规范之处,致使有些论文难以修改和使用。针对这些问题,我们翻印了西安医学院学报编辑室《医学科研论
<正> 对《金匮要略》中关于黄汗一证的病因、病机、证候、脉象及治疗等,以个人之所见,提出下列体会,供同道参考。一、黄汗的病因病机:黄汗一证首见于《金匮要略·中风历节篇
物理学科对于大多数高中学生来说普遍认为比较难学,原因之一是现实生活中的物理现象和过程一般都比较复杂的。原因之二是高中物理是一门研究物质受力和物质运动关系的最本质
本文对区域空间结构定量分析方法及相关研究进行了评述,认为"断裂点模型"对于城镇空间影响范围的界定具有较好的实用性。在改进断裂点模型的基础上,提出了该模型对区域空间结
唐代是我国茶业和茶文化发展史上一个有划时代意义的重要时期.正是在这一时期,我国的饮茶风俗得以全面推动并向周边地区和国家传播.也从而结成了文人、僧侣、宫廷和大众四大