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本文探讨了影响添加CaF2-Y2O3的AlN陶瓷热导率的显微结构因素,利用XRD、XPS研究了伴随烧结过程的晶格畸变规律,确定了氧及杂质碳在AlN晶格中的扩散行为,从而导致了晶胞的收缩和膨胀,TEM和HREM观察到类似转相区的面缺陷和不同于AlN结构的微区,结果表明,除了晶粒内部的缺陷,第二相强烈地影响烧结体的热导率,挥发性第二相有助于提高热导率。