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【摘 要】
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在研制基于微型光机电系统技术的光电器件过程中,需要精确测定器件在给定驱动条件下的运动情况。在对制作完成的光开关进行性能测试时,由于微型光机电系统光开关的几何尺寸的
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院,吉林大学电子科学与工程学院 集成
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2005年03期
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