【摘 要】
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本文报导了液氮温度下Ｈｅ＋离子注入ＬｉＮｂＯ３波导的制备，采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中Ｈｅ＋离子的射程分布和损伤分布，二者吻合得较好。
【机 构】
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山东师范大学物理系，山东大学物理系
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本文报导了液氮温度下Ｈｅ＋离子注入ＬｉＮｂＯ３波导的制备，采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率，计算了波导层折射率的分布和晶体中Ｈｅ＋离子的射程分布和损伤分布，二者吻合得较好。
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