【摘 要】
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本文讨论介质薄膜的各种特性,计有折射率、吸收率、光的散射、结构、微观结构、密度、气体吸收、化学组分、均匀性、附着性、硬度、机械应力及环境影响。
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本文讨论介质薄膜的各种特性,计有折射率、吸收率、光的散射、结构、微观结构、密度、气体吸收、化学组分、均匀性、附着性、硬度、机械应力及环境影响。
This article discusses various properties of dielectric films, including refractive index, absorption rate, light scattering, structure, microstructure, density, gas absorption, chemical composition, uniformity, adhesion, hardness, mechanical stress and environmental impact.
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