【摘 要】
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据日本《电子材料》2004年第1期报道,日本NEC和Tokuyama公司共同开发了高品质的用于纳米结构超高分辨率的电子束曝光光刻胶。是直径为0.7nm的低分子量光刻胶。其特点主要有
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据日本《电子材料》2004年第1期报道,日本NEC和Tokuyama公司共同开发了高品质的用于纳米结构超高分辨率的电子束曝光光刻胶。是直径为0.7nm的低分子量光刻胶。其特点主要有三个:①可实现目前世界最高的8nm分辨率②由于其难以
According to Japan’s “Electronic Materials” No. 1, 2004 reported that Japan’s NEC and Tokuyama company jointly developed a high-quality nanostructured ultra-high resolution electron beam exposure resist. Is a 0.7 nm diameter low molecular weight photoresist. Its characteristics are mainly three: ① can achieve the highest resolution of the world 8nm ② due to its difficult
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