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本文简述了退火对GaAs电学性质的影响.通过对退火前后电阻率、迁移率、位错密度的变化,进一步分析了变化形成的原因、机理及对器件性能的影响.指出如能很好利用这种变化,对提高器件性能有很大意义.
退火对GaAs晶体电学性能的影响
【摘 要】
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本文简述了退火对GaAs电学性质的影响.通过对退火前后电阻率、迁移率、位错密度的变化,进一步分析了变化形成的原因、机理及对器件性能的影响.指出如能很好利用这种变化,对提
【出 处】
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河北工业大学成人教育学院学报
【发表日期】
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2001年4期
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