用物理气相沉积法对工具进行氮化钛涂层

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化学气相沉积与物理气相沉积的对比高速钢工具采用化学气相沉积涂层存在很多缺点。化学气相沉积处理的温度一般采用850~1100℃,因而不能用于工具钢。因为工具钢不允许产生软化和涂层后的热处理变形。物理气相沉积(PVD)的发展可以使纯金属陶瓷膜的沉积温度低于热加工和金属切削工具钢的回火温度。到目前为 Chemical vapor deposition and physical vapor deposition contrast High-speed steel tools using chemical vapor deposition coating has many shortcomings. Chemical vapor deposition temperature is generally used 850 ~ 1100 ℃, and therefore can not be used for tool steel. Because tool steels do not allow softening and heat treatment after coating deformation. The development of physical vapor deposition (PVD) can make the pure metal ceramic film deposition temperature is lower than the hot working and metal cutting tool steel tempering temperature. So far
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