【摘 要】
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一、概况由电子工业部芦锦荣等七人(含国家计委机械电子局一人)组成的半导体设备考察团,于1983年5月21日至6月14日赴美国参观了SEMICON/WEST’83半导体设备展览会,并考察了
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一、概况由电子工业部芦锦荣等七人(含国家计委机械电子局一人)组成的半导体设备考察团,于1983年5月21日至6月14日赴美国参观了SEMICON/WEST’83半导体设备展览会,并考察了美国一部分半导体设备公司。这次考察的主要目的:了解国外半导体设
I. Overview An inspection team of semiconductor equipment composed of seven persons (including one from the State Planning Commission Bureau of Mechanical and Electronic Engineering) of the Ministry of Electronics Industry, Lu Jinrong visited the United States from May 21 to June 14, 1983 and visited SEMICON / WEST ’ 83 semiconductor equipment exhibition, and inspected the United States part of the semiconductor equipment company. The main purpose of this visit: to understand foreign semiconductor facilities
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