薄膜砷化镓霍尔传感器

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目前,在电子技术、仪器仪表制造、计算技术和其他领域中,应用霍尔传感器有很大希望,它在文献中已有足够广泛地叙述。除此之外,在文献[2.3]中叙述了大量的,不只是苏联生产的,而且有外国生产的利用霍尔效应的装置。在文献[4]中详细叙述了在全苏电机科学研究所伊斯特拉分部研制出来的,基于外延砷化嫁的薄膜传感器的结构与制造工艺和基本特性。使用带有成组的霍尔传感器的 Currently, there is great promise for the use of Hall sensors in the fields of electronics, instrumentation, computing, and other fields, and it has been described extensively in the literature. In addition, a large number of installations utilizing Hall effect are produced in foreign countries, not only from the Soviet Union, but also from [2.3]. The structure, manufacturing process and basic characteristics of an epitaxial arsenide thin film sensor developed in Istria Division of the Institute of Electrical Science and Technology of Japan at [4] are described in detail. Use a Hall sensor with a group
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